高电压CV测量系统 CS-600A系列
高电压C-V 测量系统 : CS-605A（5kV） / CS-603A（3kV）适用于SiC、GaN 等功率半导体设备的电容测量
- 实现最大5kV（CS-605A）或3kV（CS-603A）的电容测量自动化（附带Sweep功能）
- 支持各种设备封装的曲线图示仪专用适配器可直接使用
- 支持与探测台的系统化，以便执行晶圆及芯片上的电容测量。
- 还可执行高电压专用电容器等的电容测量
※另需准备LCR测试仪。
通过CV Measurement Tool (PC 软件) 的测量示例
【测量示例1】 最大2.5kV 的扫频测量
【测量示例2】最大70V 的高分辨率测量
测量区块图
规格
| 项 目 | CS-605A | CS-603A |
|---|---|---|
| DC 偏压 | 0-5kV / 0-50V | 0-3kV / 0-50V |
| 设置分辨率 | 100mV / 1mV | |
| 测量范围 | 10kHz 100pF～10nF ±5％(±50pF） 100kHz 10pF～1nF ±5％(±2pF） Cgd:Cds:Cgs=1:1:1，Cgd:Cds:Cgs=1:10:100时 |
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| 频率范围 | 10kHz-100kHz | |
| LCR测试仪的 测量信号电平范围 |
100mV～1V | |
| 测量参数 | Cies, Ciss（输入电容）、Coes, Coss（输出电容）、Cres , Crss（反向传输电容）、 CT（端子间电容）、Cgs,Cge/Cgd,Ccg/Cds,Cce（计算值）、Rg（门极电阻） |
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| 测量模式 | C-V: 电容 vs 偏压、C-G: 电容 vs 门极电压、 C-Time: 电容 vs 时间 | |
| 门极偏压 | +/-25V at 1mV/step | |
| 扫描类型 | 线性/日志/列表/单向 | |
| 扫描方向 | UP Sweep | |
| 测量点 | 5000点 | |
| 其他 | 波形比较、REF 显示、附带联动功能、外部联动装置(选配件) | |
| 外形尺寸 / 重量 | 约330W×370D×230H（mm）※突起部除外 / 约8.5kg | |
| 动作温度范围 | 0 ℃ ～ +40 ℃ | |
| 性能保证温度范围 | 23℃±5 ℃ | |
| 动作湿度范围 | 0 ～ +40 ℃、5 % ～ 80 % RH （30℃、不得结露） 上限值 55 % RH （40℃、不得结露） |
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| 电源输入范围 | AC 100-240 V 50/60Hz | |
| 消耗功率 | 35VA | |
