半导体参数测量软件 CS-810

以往很多项目都是分别通过手动操作一边执行设置一边花费大量的时间执行测量，而采用《半导体参数测量软件 CS-810》的话，即可轻松且自动执行测量，而且测量内容也可作为依据保存。此外，如果事先设置阈值的话，还可实现自动测量。

导入好处

• 可按测量步骤，切实且无遗漏地测量
• 测量内容也可作为依据保存
• 可自动判定
• 选配件产品的控制也可实现自动化(例如：通过加热板的温度控制)

进行了实际对比(本公司对比)

使用相同试样执行自动测量(半导体参数测量软件CS-810)时，与以往的手动测量进行了对比。

• 手动测量时间假设为娴熟人员的操作时间。

使用“半导体参数测量软件 CS-810”执行自动测量时的视频

一边手动设置一边花费大量时间执行测量时的视频(因为时间较长，所以以2倍速播放)

同时还可对“配线更改作业”实现自动化。扫描系统CS-700 详情由此进入

通过安装于PC的软件选配件，经由以太网控制曲线图示仪或扫描仪、加热板等。
通过简单设置，即可通过曲线图示仪自动测量迄今为止只能通过手动操作执行的测量，由此提高作业效率。

无需编程知识

将手动测量的曲线图示仪设置读入PC后，任何人均可轻松完成设置，无需编程等知识。

自动测量(漏电流、饱和电压、VF、Vth等)

测量结果窗口

波形比较功能

可将开发时的偏差或不良分析等与测量后保存的各种波形进行比较。同时还可通过波形比较进行良否判定。

波形比较与判定

可通过与参考数据的比较进行良否判定。

波形显示

可同时在同一图标上显示和比较最多10个波形，波形包括以往获取的CSV文件及曲线图示仪的召回波形、当前获取的波形。

重缩放功能

以任意间隔将所示波形的电压轴保存为CSV文件。将测量结果制成表格时，可使电压轴达到一致。

光标功能

所示波形的数值以一览表方式显示。 同时，采样点以外的数值也可以插值方式显示。

注释显示

可显示、编辑、移动各波形的注释。

图表的图像保存

可任意组合图表、文件列表、光标值保存为图像文件。
（图像格式：PNG/BMP/JPG/TIFF）

多种图表显示

图表标题、图表区域背景色、光标色、Line Dot(仅限直线、仅限点、直线和点)X轴、Y轴：轴标题、数据选择(Ic/Vce/Vbe)、比例尺(Log/Linear)(仅限Y轴)、刻度间隔(Auto,1-2-5Step)、刻度最小值、最大值、网格(显示颜色、隐藏)

传递特性的自动测量功能

可通过曲线图示仪自动测量传递特性。

特性曲线的文件保存

将测量的特性保存为CSV文件，并将图表作为图像数据保存为文件
※图像格式：PNG/BMP/JPG/TIFF

光标功能

X轴、Y轴上显示光标。以插值方式在测量数据之间显示数值。

图表区域的自定义

可自定义图表的标题、轴标签、背景色、轴范围等。

设置的保存/读取

可将特性测量的设置内容、图表区域的自定义设置内容保存为文件和从文件中调用。

设备试验

输入采样名称后设置为测试台

测量执行过程中显示测量值和判定结果

根据判定结果弹出暂停和作业指示

根据测量项目弹出暂停和作业指示

测量结束后，可将LOG文件导出为CSV或工作表格式。
测量时自动保存波形图像和数据。
应力试验日志另存为文件。
可从日志显示画面选择测量结果后重新执行测量。

模块测量

与曲线图示仪同时控制扫描系统。
还可控制各元件门极的开路/短路及HV/HC切换，无需拆除母线即可实现1个模块的全自动测量。

执行CS-810的设置时，在设置1个元件后，复制元件数量即可轻松完成设置。

• 未测量的元件门极可与发射极进行短接(CS-707)

特性曲线的文件保存

将测量的特性保存为CSV文件，并将图表作为图像数据保存为文件
※图像格式：PNG/BMP/JPG/TIFF

光标功能

X轴、Y轴上显示光标。以插值方式在测量数据之间显示数值。

图表区域的自定义

可自定义图表的标题、轴标签、背景色、轴范围等。

设置的保存/读取

可将特性测量的设置内容、图表区域的自定义设置内容保存为文件和从文件中调用。

半导体的温度特性评估

CS-810还可同时控制加热板。
对于费时的各温度参数可执行全自动测量。

应力试验

将各种参数编入应力试验

• 可实施长时间的可靠性试验。
• 电流/电压始终由曲线图示仪侧自动监控，同时记录电流和电压的变化。
• 可在应力试验的中途或前后自动测量各种参数。
• 电流或电压均设置下限值、上限值，一旦超出限制即会停止印加。

保持一定的电压或电流（10秒～1,000小时)
测量Ic及Vce（间隔：10秒～2小时）

分立设备的试验

连接并一键单击即可测量多台设备

可依次测量相同单元。 扫描系统CS-700系列共有10CH。 全自动测量费时的温度特性等10个元件。 控制软件CS-810的设置也是只需复制1个元件即可完成。

※CS-700系列最多可并联运行10个系统

支持晶圆测量

通过与探头台系统的连接来测量晶圆上的设备
探头台连接线 CS-306/308
使探头台与曲线图示仪相互连接的电缆(联动专用端子装备)